Sumitomo重工業は、日本でSICイオン移植マシンを発売します
外国メディアの報道によると、Sumitomo Leave Industriesの子会社であるSumitomo Ion Technologyは、2025年に市場で炭化シリコン（SIC）パワー半導体用のイオン移植マシンを発射します。SICプロセスで使用されている機器のほとんどは従来のシリコン生産ラインと同じですが、SICの硬度が高いため、高温イオン移植機、カーボンフィルムスパッタリング機、大量生産ハイなど、特別な生産機器が必要です。 - 温度アニーリング炉など。その中で、高温イオン移植機の存在は、SIC生産ラインを測定するための重要な基準です。
報告書によると、イオン移植装置は、リンやホウ素などの不純物イオンをウェーハに注入して、その電気特性を変化させます。シリコンウェーハの場合、結晶性を回復するためにイオン移植後に熱処理が行われます。ただし、SICの場合、イオン移植後の熱処理だけで結晶性を回復することは困難です。通常の方法は、SICチップを約500度に摂氏約500度に加熱し、イオン移植と熱処理を行うことです。複雑な動作プロセスにより、SIC半導体は、シリコン半導体よりも収量が低いという問題があります。
今回、Sumitomo Leave Industries Ion Technologyは、発売された製品のイオン移植方法を改善する予定であり、SICの品質と生産の増加を維持することを計画しています。
高い技術的困難や困難なプロセスの検証などの要因により、イオン移植機産業には高い競争力のある障壁と高い産業集中があります。全体として、市場全体は、主にアメリカの応用材料会社とアメリカのAxcelis Companyによって独占されており、世界市場の70％以上を占めています。
Trendforce Consultingの最新データは、SICが電力密度と効率が非常に重要である自動車や再生可能エネルギーなどのアプリケーション市場での浸透を依然として加速していることを示しています。市場全体の需要は、今後数年間で成長傾向を維持し、2028年には世界のSICパワーデバイス市場規模が91億7000万米ドルに達すると予想されています。
今回、Sumitomo Leave Industries Ion Technologyは、発売された製品のイオン移植方法を改善する予定であり、SICの品質と生産の増加を維持することを計画しています。
高い技術的困難や困難なプロセスの検証などの要因により、イオン移植機産業には高い競争力のある障壁と高い産業集中があります。全体として、市場全体は、主にアメリカの応用材料会社とアメリカのAxcelis Companyによって独占されており、世界市場の70％以上を占めています。
Trendforce Consultingの最新データは、SICが電力密度と効率が非常に重要である自動車や再生可能エネルギーなどのアプリケーション市場での浸透を依然として加速していることを示しています。市場全体の需要は、今後数年間で成長傾向を維持し、2028年には世界のSICパワーデバイス市場規模が91億7000万米ドルに達すると予想されています。